Electromechanical equipment

Country: France
Language: EN FR
Customer: CEA / Grenoble
Number: 4671333
Publication date: 05-10-2017
Source: TED
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Tags: electrotechnical, electronic and electromechanical equipment

Original Description

  1. Section I
    1. Nom et adresses
      CEA / Grenoble
      17 rue des Martyrs
      Grenoble Cedex 9
      38054
      France
      Téléphone: +33 438789943
      Courriel: claire.moreau-flachat@cea.fr
      Fax: +33 438785060
    2. Type de pouvoir adjudicateur:
      Organisme de droit public
    3. Activité principale:
      Autre activité: Recherche
  2. Section II
    1. Étendue du marché:
      1. Intitulé:

        Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster diélectrique 300 mm»).


        Numéro de référence: AOO-170571-CMF
      2. Code CPV principal:
        31720000
      3. Type de marché:
        Fournitures
      4. Description succincte:

        Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2,SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L"équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.

        Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.


      5. Information sur les lots:
        Ce marché est divisé en lots: non
      6. Valeur totale du marché:
        Valeur
    2. Description
      1. Intitulé:
      2. Code(s) CPV additionnel(s):

      3. Lieu dexécution:
        Lieu principal dexécution:

        CEA Grenoble — conditions d"accès réglementées.


      4. Description des prestations:

        Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L"équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.

        Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.


      5. Critères d’attribution:
        Critère de qualité - Nom: Qualité technique de l"offre / Pondération: 45
        Critère de qualité - Nom: Délais / Pondération: 5
        Prix - Pondération: 50
      6. Information sur les options:
        Options: non
      7. Information sur les fonds de lUnion européenne:
        Le contrat sinscrit dans un projet/programme financé par des fonds de lUnion européenne: non
      8. Informations complémentaires:
  3. Section IV
  4. Description:
    1. Type de procédure:
      Procédure ouverte
    2. Information sur laccord-cadre ou le système dacquisition dynamique:
    3. Enchère électronique:
    4. Information concernant l’accord sur les marchés publics (AMP):
      Le marché est couvert par laccord sur les marchés publics: oui
  5. Renseignements dordre administratif:
    1. Publication antérieure relative à la présente procédure:
      Numéro de lavis au JO série S: 2017/S 151-312403
    2. Informations sur labandon du système dacquisition dynamique:
    3. Informations sur labandon de la procédure dappel à la concurrence sous la forme dun avis de préinformation:
  1. Intitulé:

    Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster diélectrique 300 mm»).


  1. Informations complémentaires
  2. Procédures de recours
    1. Instance chargée des procédures de recours
      Tribunal administratif de Grenoble
      2 place de Verdun
      Grenoble
      38000
      France
      Téléphone: +33 476429000
      Courriel: ta-grenoble@juradm.fr
      Fax: +33 476422269
    2. Organe chargé des procédures de médiation

    3. Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur lintroduction de recours
      Tribunal administratif de Grenoble
      2 place de Verdun
      Grenoble
      38000
      France
      Téléphone: +33 476429000
      Courriel: ta-grenoble@juradm.fr
      Fax: +33 476422269
  3. Date d’envoi du présent avis
    2017-10-02

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