Electromechanical equipment

Country: France
Language: EN FR
Customer: CEA / Grenoble
Number: 4671333
Publication date: 05-10-2017
Source: TED
Deadline: 27 days
Descripition in original language
Tags: electrotechnical, electronic and electromechanical equipment

Description

  1. Section I
    1. Name and addresses
      CEA / Grenoble
      17 rue des Martyrs
      Grenoble Cedex 9
      38054
      France
      Telephone: +33 438789943
      E-mail: claire.moreau-flachat@cea.fr
      Fax: +33 438785060
    2. Type of the contracting authority:
      Body governed by public law
    3. Main activity:
      Other activity: Recherche
  2. Section II
    1. Scope of the procurement:
      1. Title:

        Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster diélectrique 300 mm»).


        Reference number: AOO-170571-CMF
      2. Main CPV code:
        31720000
      3. Type of contract:
        Supplies
      4. Short description:

        Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2,SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L"équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.

        Il sera installé dans les salles blanches Microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.


      5. Information about lots:
        This contract is divided into lots: no
      6. Total value of the procurement:
        Value
    2. Description
      1. Title:
      2. Additional CPV code(s):

      3. Place of performance:
        Main site or place of performance:

        CEA Grenoble — conditions d"accès réglementées.


      4. Description of the procurement:

        Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L"équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450°C.

        Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.


      5. Award criteria:
        Quality criterion - Name: Qualité technique de l"offre / Weighting: 45
        Quality criterion - Name: Délais / Weighting: 5
        Price - Weighting: 50
      6. Information about options:
        Options: no
      7. Information about European Union funds:
        The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      8. Additional information:
  3. Section IV
  4. Description:
    1. Type of procedure:
      Open procedure
    2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
    3. Information about electronic auction:
    4. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
      The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
  5. Administrative information:
    1. Previous publication concerning this procedure:
      Notice number in the OJ S: 2017/S 151-312403
    2. Information about termination of dynamic purchasing system:
    3. Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice:
  1. Title:

    Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster diélectrique 300 mm»).


  1. Additional information
  2. Procedures for review
    1. Review body
      Tribunal administratif de Grenoble
      2 place de Verdun
      Grenoble
      38000
      France
      Telephone: +33 476429000
      E-mail: ta-grenoble@juradm.fr
      Fax: +33 476422269
    2. Body responsible for mediation procedures

    3. Service from which information about the review procedure may be obtained
      Tribunal administratif de Grenoble
      2 place de Verdun
      Grenoble
      38000
      France
      Telephone: +33 476429000
      E-mail: ta-grenoble@juradm.fr
      Fax: +33 476422269
  3. Date of dispatch of this notice
    2017-10-02

Other tenders from France за for this period

Software package and information systems Source: TED

Memory storage media Source: TED

Hardware Source: TED

Medical consumables Source: TED

Basic inorganic and organic chemicals Source: TED