Electronic equipment (№17424431)

05 nov

Number: 17424431

Country: France

Source: TED


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Publication date


05-11-2019

Description


  1. Section I
    1. Name and addresses
      CEA/Grenoble
      17 rue des Martyrs
      Grenoble Cedex 9
      38054
      France
      Telephone: +33 438780524
      E-mail: [email protected]
    2. Type of the contracting authority:
      Body governed by public law
    3. Main activity:
      Other activity: Recherche
  2. Section II
    1. Scope of the procurement:
      1. Title:

        Équipement batch spray de stripping 200 mm

        Reference number: AOO_190367-sc
      2. Main CPV code:
        31710000
      3. Type of contract:
        Supplies
      4. Short description:

        Le CEA/LETI envisage l’acquisition d’un équipement de stripping humide pour wafer 200 mm.

        L’équipement sera installé en salle blanche, pour être utilisé 24 h/24 h et 7 jours/7.

        Cet équipement de type «spray batch tool» sera utilisé pour des procédés de stripping résine avec utilisation de chimie typée solvant.

        Il pourra prendre en charge en charge des séries de 25 wafers de 200 mm de silicium.

      5. Information about lots:
        This contract is divided into lots: no
      6. Total value of the procurement:
        Value excluding VAT: 1.00 EUR
    2. Description
      1. Title:
      2. Additional CPV code(s):

      3. Place of performance:
        Main site or place of performance:

        CEA Grenoble.

      4. Description of the procurement:

        Le CEA/LETI envisage l’acquisition d’un équipement de stripping humide pour wafer 200 mm.

        L’équipement sera installé en salle blanche, pour être utilisé 24 h/24 h et 7 jours/7.

        Cet équipement de type «spray batch tool» sera utilisé pour des procédés de stripping résine avec utilisation de chimie typée solvant.

        Il pourra prendre en charge en charge des séries de 25 wafers de 200 mm de silicium.

        Il sera utilisé après des process de gravure sèche ou humide, photolithographie ou d’implantation ionique; son efficacité se traduira donc par un retrait de la résine et des polymères engendrés à l’étape précédente.

        L’équipement devra accepter des matériaux diélectriques et des métaux dont la compatibilité devra être assurée conformément aux spécifications.

        Pour garantir une bonne efficacité du process l’équipement devra permettre un contrôle précis en température et en débit des solvants; en outre, pour des raisons de sécurité, le process devra être automatisé.

      5. Award criteria:
        Quality criterion - Name: Qualité technique de l"offre / Weighting: 45
        Quality criterion - Name: Délais / Weighting: 5
        Price - Weighting: 50
      6. Information about options:
        Options: no
      7. Information about European Union funds:
        The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      8. Additional information:

        Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l"avis d"attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures sans violer le secret des affaires.

  3. Section IV
    1. Description:
      1. Type of procedure:
        Open procedure
      2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
      3. Information about electronic auction:
      4. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
        The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
    2. Administrative information:
      1. Previous publication concerning this procedure:
        Notice number in the OJ S: 2019/S 142-349091
      2. Information about termination of dynamic purchasing system:
      3. Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice:
  4. Section V
    1. Contract No: 4000856146 / P7T35
      Lot No: 1
      Title:

      Équipement batch spray de stripping 200 mm

    2. Award of contract
      1. Date of conclusion of the contract: 2019-10-28
      2. Information about tenders:
        Number of tenders received: 2
        Number of tenders received from SMEs: 0
        Number of tenders received from tenderers from other EU Member States: 2
        Number of tenders received from tenderers from non-EU Member States: 0
        Number of tenders received by electronic means: 2
        The contract has been awarded to a group of economic operators: no
      3. Name and address of the contractor:
        Siconnex Customed Solutions GmbH
        226345 K
        Gewerbestrasse 2
        Salzburg
        5322
        Austria
        Telephone: +33 631305554
        E-mail: [email protected]
        Fax: +33 631305554
        The contractor is an SME: no
      4. Information on value of the contract/lot (excluding VAT):

        Total value of the contract/lot: 1.00 EUR
      5. Information about subcontracting:

  5. Section VI
    1. Additional information

      Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l"avis d"attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures sans violer le secret des affaires.

    2. Procedures for review
      1. Review body
        Tribunal administratif de Grenoble
        2 place de Verdun
        Grenoble
        38000
        France
        Telephone: +33 476429000
        E-mail: [email protected]
        Fax: +33 476422269
      2. Body responsible for mediation procedures

      3. Service from which information about the review procedure may be obtained

        Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu"à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.

        Tribunal administratif de Grenoble
        2 place de Verdun
        Grenoble
        38000
        France
        Telephone: +33 476429000
        E-mail: [email protected]
        Fax: +33 476422269
    3. Date of dispatch of this notice
      2019-10-31